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電子半導(dǎo)體真空吸塵系統(tǒng)CVP925潔凈室無塵室粉塵治理設(shè)備CVESINOVAC
| 產(chǎn)品型號(hào): |
CVE |
| 品 牌: |
SINOVAC |
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| 所 在 地: |
江蘇無錫 |
| 更新日期: |
2026-07-02 |
| | 品牌:SINOVAC | | 型號(hào):CVE | | 加工定制:是 | |
| | 適用范圍:各工業(yè)領(lǐng)域易產(chǎn)生粉塵的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng) | | 處理風(fēng)量:600~10000 m3/h | | 過濾面積:300 | |
| | 出風(fēng)口尺寸:200 mm | | 外形尺寸:1000*1600*2100 mm | | 過濾面積:300 | |
電子半導(dǎo)體真空吸塵系統(tǒng)CVP925潔凈室無塵室粉塵治理設(shè)備
之前我們的客服同事接到一個(gè)業(yè)主的電話,咨詢電子半導(dǎo)體車間用的真空吸塵系統(tǒng)裝置,在溝通的過程中,提到他干這行二十年,早年間吃過不少虧。2008年他們?yōu)?寸晶圓車間做潔凈室改造,他們用了普通工業(yè)吸塵器清灰,結(jié)果光刻機(jī)鏡頭上落了亞微米級(jí)硅粉塵,整批晶圓報(bào)廢。那時(shí)候才真正明白,電子半導(dǎo)體潔凈室的除塵,不是選擇能吸的動(dòng)的設(shè)備就行,所以今年他們新廠需要安裝除塵設(shè)備,他毫不猶豫的就是尋找做負(fù)壓真空吸塵系統(tǒng)的廠家。
電子半導(dǎo)體車間的粉塵主要有硅微粉、光刻膠粉塵、金屬碎屑、樹脂粉末。這些粉塵顆粒細(xì)小,易于飄散,且具有的粉塵一定的粘附性,難以通過傳統(tǒng)的清掃方式 清除。而真空吸塵系統(tǒng)采用高負(fù)壓原理,通過風(fēng)機(jī)產(chǎn)生強(qiáng)大的吸力,將含塵空氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部,并通過精密的過濾裝置將粉塵顆粒分離并收集起來。這一過程不僅高效快捷,而且能夠避免粉塵的二次污染和逸散。
真空吸塵系統(tǒng)在電子半導(dǎo)體的潔凈室種除塵中的應(yīng)用具有顯著優(yōu)勢(shì)。首先,其高負(fù)壓吸塵能力確保了粉塵的 清除。系統(tǒng)內(nèi)部的高負(fù)壓環(huán)境使得吸塵口附近的空氣流速加快,形成強(qiáng)大的吸力,將粉塵顆粒迅速吸入系統(tǒng)內(nèi)部。同時(shí),精密的過濾裝置能夠有效攔截和分離粉塵顆粒,確保排出的空氣干凈無污染。電子半導(dǎo)體吸塵裝置
其次,真空吸塵系統(tǒng)具有靈活性和便捷性。在單晶硅生產(chǎn)過程中,粉塵的分布往往不均勻,且可能附著在爐壁、設(shè)備表面等多個(gè)部位。真空吸塵系統(tǒng)可以根據(jù)實(shí)際需要調(diào)整吸塵口的位置和數(shù)量,實(shí)現(xiàn)對(duì)不同部位的精準(zhǔn)吸塵。此外,系統(tǒng)操作簡(jiǎn)便,易于維護(hù)和保養(yǎng),降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。
電子半導(dǎo)體真空吸塵系統(tǒng)CVP925潔凈室無塵室粉塵治理設(shè)備