電子半導體行業(yè)一直都是全世界重點發(fā)展的產(chǎn)業(yè)，但是半導體潔凈室生產(chǎn)車間對于環(huán)境清潔度要求是很高的，每個潔凈室車間都要配有真空吸塵系統(tǒng)或者是分支管道的吸塵點的布局，本篇文章主要告訴大家半導體潔凈室真空吸塵系統(tǒng)選型三大硬性指標的重要性。
電子半導體潔凈室真空吸塵系統(tǒng)選型我們一定要看的三個硬指標：
指標一、全回路導靜電：軟管、吸嘴、管件表面電阻率低于10^6Ω，并且要定期檢測——老化是*大的坑，很多系統(tǒng)驗收時合格，兩年后就不達標了。
指標二、泄爆與隔爆裝置：管路系統(tǒng)每隔15-20米加裝無焰泄爆閥，集塵桶配備
爆po片，同時使用旋轉(zhuǎn)下料閥實現(xiàn)動態(tài)密封。別想著靠單純的高效過濾器擋火焰，高速粉塵撞擊產(chǎn)生的壓力波一樣會反沖回車間。
指標三、防爆氣動工具替代電動吸塵器：潔凈室里用220V的移動式工業(yè)吸塵器，本身就是違規(guī)的。電機換向火花、碳刷磨損，都是隱患�，F(xiàn)在正規(guī)方案都采用壓縮空氣驅(qū)動的文丘里式真空發(fā)生器，配合遠程氣源，徹底杜絕電氣火花。
電子半導體車間物料回收利用這件事，很多業(yè)主一開始覺得成本高，不是很愿意進行物料回收。 但我們?nèi)绻堰@筆賬算筆細賬就清楚了：一套200個吸口的中央真空系統(tǒng)，一次性投資大約60-80萬，但每年回收的貴金屬粉塵（金、銀、鈀在鍵合工序和濺射工序的廢屑）加上減少的危廢處置費用，讓企業(yè)的回本周期通常不超過兩年。根據(jù)我們2022年給無錫一家功率半導體廠設(shè)計安裝的真空吸塵系統(tǒng)，一開始他們沒有想到要進行物料回收，經(jīng)過我們技術(shù)工程師給他們反復的推算，同意了在粉塵清理的同時，設(shè)計了物料回收的過濾精度，經(jīng)過一年的回收的銅粉賣給下游冶煉廠，我們在周期性進行售后回訪，他們的領(lǐng)導反饋光這一項就多了17萬的收入，因此電子半導體真空吸塵系統(tǒng)的物料回收很有必要。
防爆設(shè)計方面，業(yè)主也一定要和供應方的技術(shù)人員交代清楚，防爆設(shè)計的標準不能完全根據(jù)化工行業(yè)的防爆標準來設(shè)計。因為潔凈室要求表面光滑不積塵，管道內(nèi)壁粗糙度Ra≤0.8μm，且不能有螺紋連接的死角——這些都會增加制造成本，但是對潔凈室各個位置的粉塵清理起來效率很高。之前有一家業(yè)主來咨詢半導體潔凈室車間真空吸塵系統(tǒng)改造問題，他說他們的車間安裝的除塵設(shè)備也是負壓真空的，但是由于之前的供應方給他們的除塵方案是照搬糧食行業(yè)的除塵器除塵設(shè)計方案，由于糧食粉塵的特殊性，該除塵器內(nèi)部焊了加強筋板，結(jié)果三個月后筋板背面全粘滿了吸不掉的粉塵，成了微生物繁殖的溫床，導致車間潔凈效果下降，產(chǎn)品的質(zhì)量也在不斷的下降。
在文章即將結(jié)束的尾部，我們的技術(shù)工程師也提醒電子半導體廠家業(yè)主，選擇真空吸塵系統(tǒng)的時候，有一個很容易被忽略的細節(jié)：
氣鎖設(shè)計。中央真空吸塵系統(tǒng)在潔凈室側(cè)需要設(shè)置兩級中間集塵桶，每級之間需要用道氣動蝶閥交替啟閉。這樣做
一是防止回風氣流倒灌，
二是保證在更換集塵桶或者集塵袋時，潔凈室側(cè)仍然能保持正常工作負壓。但是很多供應廠家會很把這一級聲調(diào)，結(jié)果換袋時吸口瞬間失效，操作工下意識會把吸嘴對準地面猛吸幾下——帶起來的粉塵直接污染了周邊區(qū)域，潔凈室車間的產(chǎn)品也很可能會因為這個原因報廢掉。所以大家一定要和供應廠家的技術(shù)人員交代清楚，不要省掉這一關(guān)鍵設(shè)計。
