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SINOVAC 新能源半導(dǎo)體新材料真空清掃系統(tǒng)除塵設(shè)計(jì)CVE
基礎(chǔ)版： 工業(yè)級(jí)無(wú)塵真空清掃系統(tǒng) - 專(zhuān)為新能源/新材料/半導(dǎo)體設(shè)計(jì)
潔凈度： 超高潔凈度 (Class X) 真空清掃系統(tǒng) - 新能源電池/半導(dǎo)體晶圓/新材料生產(chǎn)環(huán)境專(zhuān)用
防爆/安全： ATEX/防爆型無(wú)塵真空清掃系統(tǒng) - 嚴(yán)苛新能源與新材料環(huán)境解決方案
多功能： 多功能工業(yè)級(jí)潔凈清掃系統(tǒng) - 滿足新能源、新材料、半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間需求
[SINOVAC] CVE920真空吸塵系統(tǒng) (用于新能源/新材料/半導(dǎo)體)
無(wú)與倫比的潔凈度：
采用HEPA H14 / ULPA U15/U17 高效過(guò)濾器，過(guò)濾效率 >99.995% @ 0.3μm / >99.9995% @ 0.12μm。
超低泄漏率設(shè)計(jì)，確保無(wú)二次污染。
過(guò)濾器完整性測(cè)試便捷接口/功能。
材料符合SEMI F72 (無(wú)硅) 或其他特定潔凈室材料標(biāo)準(zhǔn)。
卓越的安全性能 (尤其新能源)：
本質(zhì)安全設(shè)計(jì)，適用于 Zone 21/22 (ATEX) 或 Class II Division 2 (NEC) 等防爆區(qū)域。
防靜電設(shè)計(jì)：導(dǎo)電軟管、導(dǎo)電過(guò)濾器、接地裝置，有效防止靜電放電火花。
無(wú)火花風(fēng)機(jī)/電機(jī)。
密閉系統(tǒng)，防止有害/易燃粉塵外泄。
優(yōu)異的材料兼容性與耐化學(xué)性：
接觸介質(zhì)部件 (桶身、軟管、吸頭、過(guò)濾器殼體) 采用316L不銹鋼、PTFE涂層、特定耐化學(xué)塑料，抵抗酸堿溶劑腐蝕。
針對(duì)新材料特殊粉末 (如碳納米管、金屬粉末) 的吸附優(yōu)化。
高效過(guò)濾與粉塵管理：
自動(dòng)/手動(dòng)脈沖反吹清灰系統(tǒng)，延長(zhǎng)過(guò)濾器壽命。
大容量快開(kāi)式集塵桶，帶密封圈，傾倒/更換方便。
旋風(fēng)分離預(yù)過(guò)濾 (可選)，減輕主過(guò)濾器負(fù)擔(dān)，適用于高粉塵負(fù)載。
壓差監(jiān)控，提示過(guò)濾器更換。
智能控制與用戶友好：
變頻控制，按需調(diào)節(jié)風(fēng)量風(fēng)壓，節(jié)能降噪。
觸摸屏控制面板，顯示運(yùn)行參數(shù) (風(fēng)量、負(fù)壓、壓差、運(yùn)行時(shí)間)、報(bào)警信息。
遠(yuǎn)程監(jiān)控/控制接口 (RS485, Ethernet, IoT)。
低噪音設(shè)計(jì)，符合潔凈室環(huán)境要求。
輕量化設(shè)計(jì)/移動(dòng)靈活性 (如帶剎車(chē)萬(wàn)向輪)。
可靠性與耐用性：
工業(yè)級(jí)電機(jī)與部件，長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)。
易于維護(hù)保養(yǎng)。
符合相關(guān)工業(yè)安全與電氣安全標(biāo)準(zhǔn)。
SINOVAC 新能源半導(dǎo)體新材料真空清掃系統(tǒng)除塵設(shè)計(jì)CVE
